Trong xu thế phát triển của ngành công nghiệp bán dẫn. Để chế tạo được các sản phẩm bán dẫn có hàm lượng công nghệ và độ phức tạp cao cần tới các máy xử lý tiên tiến. Mới đây để đáp ứng nhu cầu nghiên cứu công nghệ bán dẫn và đón đầu xu thế công nghệ Công ty TNHH TM DV KT đã lắp đặt và chuyển dao hệ thống quang khắc laser Dilase của hãng Kloé pháp tại phòng sạch nghiên cứu công nghệ bán dẫn của khu công nghệ cao Quận 9.
Dilase 650 là hệ thống quang khắc laser trực tiếp độ phân giải cao cung cấp khả năng làm việc với một hoặc hai laser khắc, trong quá trình khắc có thể sử dụng từ một đến hai chùm tia có kích cỡ khác nhau , từ 1µm đến 50 µm. . Nó cho phép khắc trên bất kỳ loại vật liệu nền nào (photomas, chất bán dẫn, thủy tinh, polyme, tinh thể, màng dẻo …) trên một diện tích bề mặt lớn tới 6 inch.
Các ưu điểm của hệ thống quang khác laser Dilase 650:
Chế độ khắc Vectorial (kết hợp với khắc quét raster) đảm bảo độ chính xác hoàn hảo các đường viền hoặc độ nhám của cạnh, mà không ảnh hưởng đến chất lượng hiển thị và thời gian đạt được.
Một dây chuyền xử lý quang học giúp tạo ra độ sâu lớn của tiêu cự và đảm bảo độ ổn định hiệu suất hoàn hảo của thiết bị. Một tùy chọn cụ thể cho phép đạt tỷ lệ khung hình từ 10 đến 40 trên các lớp mỏng. Có thể xử lý chất nền dày từ 250μm đến 10mm. Cùng với đó là độ chính xác của cả khối đạt 500nm.
Cùng với đó Dilase 650 được tích hợp với phần mềm xử lý KloeDesign một phần mềm thiết kế có sự trợ giúp của máy tính. Nó cho phép bạn nhanh chóng vẽ tất cả các loại mô hình như mạch quang, vi lỏng, vi điện tử nhờ vào các đối tượng thư viện được xác định trước có sẵn cho người dùng. Hơn nữa, KloeDesign cho phép tải lên định dạng tiêu chuẩn thông thường của ngành, như DXF và GDSII, để nhanh chóng tích hợp môi trường của bạn (chuỗi sản xuất). Dễ dàng sử dụng cho và tạo được nhiều người sử dụng, bộ phần mềm cung cấp các câu trả lời cụ thể cho các yêu cầu chung của chế tạo vi mô, từ tạo mẫu cho đến sản xuất hàng loạt.
Là dòng máy có nhiều ưu điểm vượt trội và phức tạp về mặt kỹ thuật. Nhưng với đội ngũ kỹ sư dày dạn kinh nghiệm và sự hỗ trợ của các chuyên gia từ hãng. Công ty đã lắp đặt và chuyển giao thành công máy Dilase 650 cho phòng sạch phục vụ nghiên cứu công nghệ bán dẫn.
Dưới đây là một số hình ảnh lắp đặt và chuyển giao máy Dilase 650 tại phòng sạch của khu công nghệ cao:
